檢測吸附器閥門泄漏的方法有兩種: ①壓力比較法。 ②吸附時間比較法。
當(dāng)閥檢模塊檢測到的閥門位置與工藝閥門的實(shí)際所處步位位置不一致時,將發(fā)生閥門故障報警,在控制圖上出現(xiàn)紅色閃爍。