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單項(xiàng)選擇題

下列方程式中屬于二氧化硅刻蝕工藝的是（）。

A.4HF+Si=SiF4+2H2↑
B.CF4+SiO2——→SiF4+CO2↑
C.CF4+SiO2+O2——→SiF4+CO2↑
D.SiO2+4HF——→SiF4+2H2O
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