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單項選擇題

光刻要求晶圓片表面存在的圖案與掩膜版上的圖形對準(zhǔn)，此特性指標(biāo)稱為（）。

A.套準(zhǔn)精度
B.特征尺寸
C.分辨率
D.工藝寬容度

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