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名詞解釋

填充薄膜

答案：

是指用金屬薄膜填充通孔，以便在兩金屬層之間形成電連接。

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通孔

答案：

是指穿過各種介質從某一金屬到毗鄰的另一金屬層形成電通路的開口。

接觸

答案：

是指芯片內的器件與第一層金屬之間在硅表面的連接。