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名詞解釋

光刻膠

答案：

又稱光致抗蝕劑，由感光樹脂、增感劑和溶劑三種主要成分組成的對(duì)光敏感的混合液體。

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駐波效應(yīng)

答案：光線照射到光刻膠與晶圓的界面上會(huì)產(chǎn)生部分反射。反射光與入射光會(huì)疊加形成駐波，形成駐波效應(yīng)。駐波效應(yīng)影響光刻分辨率。后烘烤...

玻璃回流

答案：

是升高溫度的情況下給摻雜氧化硅加熱，使它發(fā)生流動(dòng)。