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橫向擴(kuò)散
答案:
由于光刻膠無法承受高溫過程,擴(kuò)散的掩膜都是二氧化硅或氮化硅。當(dāng)原子擴(kuò)散進(jìn)入硅片,它們向各個(gè)方向運(yùn)動(dòng):假如雜質(zhì)原子沿硅片表...
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射程R
答案:
離子從進(jìn)入靶到停止為止走過的總距離。
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平均投影射程Rp
答案:
所有入射離子的投影射程的平均值。
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