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名詞解釋

方塊電阻（薄層電阻）

答案：

方塊電阻的大小直接反映了擴散入硅內部的凈雜質總量。

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固溶度（solubility）

答案：

在平衡條件下，雜質能溶解在硅中而不發(fā)生反應形成分凝相的最大濃度。

擴散定義

答案：材料中元素分布的不均勻會導致擴散行為的進行，使得元素由濃度高處向濃度低處移動，從而產生的一種使?jié)舛然驕囟融呌诰鶆虻亩ㄏ蛞?..