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名詞解釋

PECVD（等離子增強(qiáng)CVD）

答案：

RF激活氣體分子（等離子體），使其在低溫（室溫）下發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，淀積成膜。

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LPCVD（低壓CVD）

答案：

在27-270Pa壓力下進(jìn)行化學(xué)氣相淀積。

APCVD（常壓CVD）

答案：

氣相淀積在1個(gè)大氣壓下進(jìn)行。