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名詞解釋

自摻雜效應

答案：在外延生長過程中，襯底雜質及其他來源雜質因為熱蒸發(fā)，或者化學反應等非人為地參入外延層，改變了邊界層中的摻雜成分和濃度，從...

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擴散效應

答案：

襯底雜質與外延層雜質相互擴散，導致界面處雜志再分布的現(xiàn)象。

異質外延

答案：

外延層與沉底的材料不同。