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名詞解釋

ULSI對(duì)光刻的要求

答案:

高分辨率;高靈敏光刻膠;低缺陷;精密的套刻對(duì)準(zhǔn)。

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名詞解釋

刻蝕

答案:

通過(guò)腐蝕,將光刻膠上圖形完整整地轉(zhuǎn)移到Si片上。

名詞解釋

光刻三要素

答案:

光刻機(jī),光刻板(掩模板),光刻膠。

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