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ULSI對(duì)光刻的要求
答案:
高分辨率;高靈敏光刻膠;低缺陷;精密的套刻對(duì)準(zhǔn)。
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名詞解釋
刻蝕
答案:
通過(guò)腐蝕,將光刻膠上圖形完整整地轉(zhuǎn)移到Si片上。
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名詞解釋
光刻三要素
答案:
光刻機(jī),光刻板(掩模板),光刻膠。
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