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多項選擇題

離子注入機掃描系統(tǒng)中，采用的掃描方式有（）

A.靜電掃描
B.機械掃描
C.混合掃描
D.平行掃描

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多項選擇題

傳統(tǒng)的平坦化技術有（）

A.反刻法
B.高溫回流法
C.旋涂玻璃法
D.化學機械拋光法

多項選擇題

金屬薄膜制備中常見的濺射方式有（）

A.直流濺射
B.射頻濺射
C.磁控濺射
D.準直濺射