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問答題

【簡答題】給出使用初級泵和真空泵的理由。

答案：當真空里的壓強減低時，氣體分子間的空間加大了，這成為氣體流過系統(tǒng)及在工藝腔內產(chǎn)生等離子體的重要因素。而初級泵可以去除腔內...

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【簡答題】例出并描述4種真空范圍。

答案：四種真空范圍：
（1）低級真空：氣流主要是由分子間碰撞產(chǎn)生的（也稱滯留），壓強高得足以機械型壓力測量儀測量。

【簡答題】解釋投射電子能顯微鏡。

答案： TEM把加速和聚集的電子束投射到非常薄的樣品上，電子與樣品中的電子碰撞而電子與樣品中的原子的碰撞而改變方向，從而產(chǎn)生立體...