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問答題

【簡答題】例舉并描述金屬用于硅片制造的7種要求。

答案：金屬用于硅片制造的七個要求：
1.導(dǎo)電率：為維持電性能的完整性，必須具有高電導(dǎo)率，能夠傳導(dǎo)高電流密度。

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答案：多晶硅薄膜
用TEOS（正硅酸乙酯）-臭氧方法淀積SiO₂ Si（C_...