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干法腐蝕清潔、干凈、無脫膠現(xiàn)象、圖形精度和分辨率高。()
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判斷題
設(shè)備、試劑、氣瓶等所有物品不需經(jīng)嚴(yán)格清潔處理,可直接進(jìn)入凈化區(qū)。()
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判斷題
光致抗蝕劑在曝光前對某些溶劑是可溶的,曝光后硬化成不可溶解的物質(zhì),這一類抗蝕劑稱為負(fù)性光致抗蝕劑,由此組成的光刻膠稱為負(fù)性膠。()
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