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問答題

【簡(jiǎn)答題】解釋掃描投影光刻機(jī)是怎樣工作的？掃描投影光刻機(jī)努力解決什么問題？

答案：掃描投影光刻機(jī)的概念是利用反射鏡系統(tǒng)把有1：1圖像的整個(gè)掩膜圖形投影到硅片表面，其原理是，紫外光線通過一個(gè)狹縫聚焦在硅片...

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答案：汞燈，高壓汞燈，電流通過裝有氙汞氣體的管子產(chǎn)生電弧放電，這個(gè)電弧發(fā)射出一個(gè)特征光譜，包括240納米到500納米之間有用的...