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填空題

激光干涉儀定位裝置的特點(diǎn)是：定位精度高，可小于（），且不需刻線尺，所以（）不受限制。

答案： 1μm；測(cè)量長(zhǎng)度

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尺寸大于（）的零件，可用經(jīng)緯儀測(cè)量。

答案： 5m

干涉儀主要用于（）測(cè)量。

答案：精密