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單項選擇題

摻氯氧化使用的HCL是（）。

A.液態(tài)源
B.固態(tài)源
C.氣態(tài)源

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單項選擇題

二氧化硅中每個硅原子周圍有（）個氧原子。

A.1
B.2
C.3
D.4

單項選擇題

以下哪項不是STI工藝氣體？（）

A.SiH₄
B.O₂
C.N₂O
D.Ar