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多項(xiàng)選擇題

ICP中等離子體環(huán)狀結(jié)構(gòu)形成的原因是()。

A.高頻電流的趨膚效應(yīng)
B.內(nèi)管栽氣的氣體動力學(xué)作用
C.高頻發(fā)生器
D.三層炬管
E.單層炬管

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