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單項(xiàng)選擇題

利用高溫驅(qū)動(dòng)雜質(zhì)滲透進(jìn)半導(dǎo)體內(nèi)，此工序采用的設(shè)備是（）

A.擴(kuò)散爐
B.離子注入機(jī)
C.加熱平板
D.對(duì)流烘箱

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單項(xiàng)選擇題

電子束蒸發(fā)中有一個(gè)特殊的部件是（）

A.電阻絲
B.電子束
C.電子槍
D.石墨

單項(xiàng)選擇題

通常鉭、鈷、鎳等難溶金屬應(yīng)用于（）

A.金屬連線
B.填充塞
C.焊接層
D.阻擋層