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單項選擇題

PVD與CVD相比，工件變形（）

A.大
B.小
C.一樣
D.幾乎沒有

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單項選擇題

PVD沉積溫度一般（）

A.600℃以下
B.600-650℃
C.650-700℃
D.700℃以上

單項選擇題

化學氣相沉積是非均相反應，反應所需的活化能（）相同的均相反應。

A.等于
B.低于
C.高于
D.大大高于