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問答題

【簡答題】簡述恒溫恒濕機(jī)對(duì)旋涂的影響及注意事項(xiàng)。

答案：（1）有利于旋涂室內(nèi)恒定的溫濕度；
（2）恒溫恒濕機(jī)可以用來調(diào)整OD；
（3）不太受外界環(huán)境影響；<...

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【簡答題】簡述旋涂穩(wěn)定的控制。

答案：（1）、盡量少開旋涂室的門，控制溫濕度；
（2）、旋涂室的溫度應(yīng)對(duì)外部環(huán)境略高些，基本為30℃。濕度為30%；...

【簡答題】如何調(diào)整洗邊？

答案：

①調(diào)整洗邊正角壓力；
②調(diào)整下料閥；
③調(diào)整針頭與盤片的位置和角度；
④增大1段速度；
⑤增大二段時(shí)間；
⑥檢查Mask。