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問答題

【簡答題】5W281母盤CA1633YH染料出現(xiàn)LG第三點PO=1如何處理？

答案：

（1）檢查母盤數(shù)量；
（2）檢查白片溝深、溝寬、厚度；
（3）檢查OD；
（4）更換染料；
（5）更換母盤。

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答案：（1）是否和mask有關(guān)；
（2）洗邊針頭位置是否正確（針頭前端的角度與盤片45℃，前端與盤片3張成品的厚度）...