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問答題

【簡答題】白片厚度差如何調(diào)整？

答案：（1）用檢測儀測量白片厚度差；
（2）若需要調(diào)整在白片上作好標(biāo)記，用反射率測出的白片的薄厚分布情況，做好記錄；...

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【簡答題】偏心超過20怎么辦？

答案：首先要分析原因，是否是母盤的原因；其次找工藝工程師調(diào)整；最后找設(shè)備工程師調(diào)整模具。

【簡答題】母盤吸真空度不足怎么辦？

答案：首先，檢查吸真空過濾器是否臟，如果臟，用酒精清洗并用風(fēng)槍吹干即可。如果不臟，檢查氣路是否有漏氣的地方。