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問答題

【簡答題】旋涂碗不動應檢查什么？

答案：檢查旋涂碗可自動運行是否打開，檢查驅動器是否報警，上方看碟傳感器是否正常。

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【簡答題】當旋涂第二機械手不取片應檢查什么？

答案：檢查吸咀的情況；檢查真空度；檢查注塑機械手到第二機械手的位置。

【簡答題】旋涂機手臂不動作如何處理？

答案：

（1）手臂做home回原點；關閉控制手臂空開，做home。
（2）關閉PLC，重新做原點。