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【簡(jiǎn)答題】刻蝕及去PSG的目的是什么?

答案: 刻蝕的目的:去除邊緣的PN結(jié),防止上下短路而造成的并聯(lián)電阻低。去PSG的目的:去除硅片表面含有磷原子的SIO2層。
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