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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】例出典型的硅片濕法清洗順序。
答案：
硅片清洗步驟：
（1）H2SO4/H2O
（1）H2SO4/H2O
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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】描述RCA清洗工藝。
答案：
工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)濕法清洗工藝稱(chēng)為RCA清洗工藝，由美國(guó)無(wú)線(xiàn)電公司（RCA）于20世紀(jì)60年代提出。RCA濕法清洗由一系列有序的浸...
問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】解釋水的去離子化。在什么電阻率級(jí)別下水被認(rèn)為已經(jīng)去離子化？
答案：
用以制造去離子水的去離子化過(guò)程是指，用特制的離子交換樹(shù)脂去除電活性鹽類(lèi)的離子。18MΩ-cm電阻率級(jí)別下水被認(rèn)為已經(jīng)去離...
