A.外光路B.蠕動(dòng)泵C.抽風(fēng)裝置D.冷卻水E.工作臺(tái)面
A.繼續(xù)吸噴清水溶液B.關(guān)閉通風(fēng)櫥C.關(guān)閉冷卻水D.關(guān)閉蠕動(dòng)泵E.整理臺(tái)面
A.泵速B.霧化氣流量C.RF功率D.采樣深度E.炬管準(zhǔn)直