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填空題

寫出濃縮氟回收反應(yīng)化學(xué)方程式：（）。

答案： SiF₄+2HF=H₂SiF₆

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濃縮系統(tǒng)閃蒸室逸出的含氟氣體是由（）和（）組成的。

答案：氟化氫；四氟化硅

濃縮系統(tǒng)強(qiáng)制循環(huán)真空濃縮流程的核心部分是由（）、（）、（）組成的一個(gè)循環(huán)回路。

答案：石墨換熱器；閃蒸室；軸流泵