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多項(xiàng)選擇題

刻蝕的過程中，對刻蝕的要求是（）

A.圖形的保真度高
B.選擇比越接近1：1越好
C.均勻性好
D.晶圓表面的潔凈

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多項(xiàng)選擇題

以下屬于刻蝕環(huán)節(jié)質(zhì)量要求的是（）

A.均勻性好
B.圖形保真度高
C.選擇比低
D.潔凈度高

多項(xiàng)選擇題

最常用的砷化鎵的濕法刻蝕腐蝕液包括（）

A.硫酸
B.氫氟酸
C.雙氧水
D.去離子水