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多項(xiàng)選擇題

關(guān)于液相燒結(jié)正確的說法有（）

A.細(xì)顆粒有利于液相燒結(jié)
B.燒結(jié)過程中產(chǎn)生的大量液相有利于燒結(jié)進(jìn)行
C.提高溫度對(duì)致密化有利
D.固液相間的接觸角愈小，對(duì)燒結(jié)愈有利

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多項(xiàng)選擇題

影響CVD質(zhì)量的因素有（）

A.沉積溫度
B.反應(yīng)氣體的比例
C.基體材料
D.壓強(qiáng)

多項(xiàng)選擇題

蒸鍍制膜主要包括的物理階段有（）

A.淀積材料蒸發(fā)或升華為氣態(tài)
B.原子從蒸發(fā)源輸運(yùn)到基片
C.蒸氣粒子在基片上沉積
D.粒子在基片表面重排凝結(jié)成膜