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【簡答題】什么是阻擋層金屬?阻擋層材料的基本特征是什么?哪種金屬常被用作阻擋層金屬?
答案:
阻擋層金屬是淀積金屬或金屬塞,作用是阻止層上下的材料互相混合。
可接受的阻擋層金屬的基本特征是:
①...
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答案:
(1)鋁與P型硅及高濃度N型硅均能形成低歐姆接觸;
(2)電阻率低;
(3)與SiO
2
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