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題5-7-1:如下幾種互連材料中,電阻率最大的是 。
A、材料選用上,采用低阻互連材料,如銅取代鋁;
B、引入硅化物工藝;
C、減少互連層數(shù),減小平均聯(lián)系長度;
D、增加互連層數(shù),減小平均連線長度;
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