A、調整內外排溫度分布 B、調整機器內的真空度分布 C、調整內外排膜厚分布 D、調整同圈厚度分布
A、電子槍 B、擴散泵 C、坩堝盤 D、晶振頭
A、電子槍光斑變形,位置打偏 B、內外排分布不均勻 C、分光特性不良 D、產生雜質
A.平整度 B.高度 C.潔凈度 D.硬度