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填空題

寫(xiě)出鍍膜機(jī)各控制閥門(mén)的中文名稱：MV（）DP擴(kuò)散泵RV（）SLV細(xì)充氣閥FV輔助閥。

答案：高閥；粗抽閥

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該層晶振厚度是800A，現(xiàn)已鍍了150A，由于某種原因充氣而需要加鍍，那么加鍍晶振厚度是（）。

答案： 650A

普通加熱工藝鍍制的薄膜微觀結(jié)構(gòu)是柱狀結(jié)構(gòu)，為了改善膜層結(jié)構(gòu)，提高聚集密度，分別出現(xiàn)了三種成膜工藝（）、（）、（）。

答案：離子輔助鍍；反應(yīng)離子鍍；濺射鍍