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填空題

外延生長方法比較多，其中主要的有（）外延、（）外延、金屬有機(jī)化學(xué)氣相外延、分子束外延、（）、固相外延等。

答案：化學(xué)氣相；液相；原子束外延

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拋光片的質(zhì)量檢測(cè)項(xiàng)目包括：幾何參數(shù)，直徑、（）、主參考面、副參考面、平整度、彎曲度等；（），電阻率，載流子濃度，遷移率等；晶體質(zhì)量，晶向，位錯(cuò)密度。

答案：厚度；電學(xué)參數(shù)

半導(dǎo)體材料的主要晶體結(jié)構(gòu)有（）型、閃鋅礦型、（）型。

答案：金剛石；纖鋅礦