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問答題

【論述題】在MEMS加工中，為了精確控制腐蝕深度，有哪幾種腐蝕停止技術(shù)，分別說一下其腐蝕停止原理。

答案：腐蝕停止目的：為了精確控制腐蝕深度.P++腐蝕停止技術(shù)（形成重摻雜B層）：Si的濕法腐蝕速率在B摻雜濃度<1×10

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答案： Si工藝體硅微機械加工工藝（Bulkmicromaching）——用晶圓自身材料來制作MEM...

【論述題】分別畫出單大馬士革和雙大馬士革工藝流程圖。

答案：