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多項選擇題

干氧氧化法具備以下一系列的優(yōu)點（）。

A.生長的二氧化硅薄膜均勻性好
B.生長的二氧化硅干燥
C.生長的二氧化硅結(jié)構(gòu)致密
D.生長的二氧化硅是很理想的鈍化膜
E.生長的二氧化硅掩蔽能力強

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單項選擇題

干氧氧化法有一些優(yōu)點，但同時它的缺點有（）。

A.生長出的二氧化硅中引入很多可動離子
B.氧化的速度慢
C.生長的二氧化硅缺陷多
D.生長的二氧化硅薄膜鈍化效果差

單項選擇題

干氧氧化中，氧化爐內(nèi)的氣體壓力應(yīng)（）一個大氣壓。

A.稍高于
B.大大于
C.等于
D.沒有要求