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()可以通過帶電粒子在盛場作用下做運動把粒子進(jìn)行篩選,挑選出唯一需要注入的離子。
A.離子源
B.磁分析器
C.加速管
D.終端系統(tǒng)
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單項選擇題
利用高溫驅(qū)動雜質(zhì)滲透進(jìn)半導(dǎo)體內(nèi),此工序采用的設(shè)備是()
A.擴(kuò)散爐
B.離子注入機(jī)
C.加熱平板
D.對流烘箱
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單項選擇題
電子束蒸發(fā)中有一個特殊的部件是()
A.電阻絲
B.電子束
C.電子槍
D.石墨
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