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填空題

由于單晶硅基片的制造技術(shù)和()等的半導(dǎo)體技術(shù)有很多的共同點(diǎn),因此新技術(shù)從半導(dǎo)休整上導(dǎo)入是有右能的,最近引人注目的技術(shù)之一是()。

答案: LSI;RTP技術(shù)
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