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填空題

干式法由于應(yīng)力自由，因此即可以適用于切割大面積基片，又可以適用于（）的過(guò)程。

答案：高斜率

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多晶硅表面的結(jié)晶面是多重的，因此不能像單晶硅基片那樣，使用（）的不同方向腐蝕的化學(xué)蝕刻方法。

答案：氫氧化鉀

由于有漏電電流流動(dòng)，使所謂的反向飽和電流密度（），從而減少了開路電壓。

答案：變大