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填空題

在外延工藝中，如果膜和襯底材料（），例如硅襯底上長(zhǎng)硅膜，這樣的膜生長(zhǎng)稱為（）；反之，膜和襯底材料不一致的情況，例如硅襯底上長(zhǎng)氧化鋁，則稱為（）。

答案：相同；同質(zhì)外延；異質(zhì)外延

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縮略語(yǔ)PECVD、LPCVD、HDPCVD和APCVD的中文名稱分別是（）、（）、高密度等離子體化學(xué)氣相淀積和（）。

答案：等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相淀積；低壓化學(xué)氣相淀積；常壓化學(xué)氣相淀積

淀積膜的過(guò)程有三個(gè)不同的階段。第一步是（），第二步是（），第三步是（）。

答案：晶核形成；聚焦成束；匯聚成膜