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填空題

集成電路的制造分為五個階段，分別為（）、（）、硅片測試和揀選、（）、終測。

答案：硅片的制備；硅片制造；裝配和封裝

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集成電路的發(fā)展時代分為（）、中規(guī)模集成電路MSI、（）、超大規(guī)模集成電路VLSI、（）。

答案：小規(guī)模集成電路SSI；大規(guī)模集成電路LSI；甚大規(guī)模集成電路ULSI

芯片硅片制造廠可以分為6個獨立的生產(chǎn)區(qū)：擴(kuò)散區(qū)、（）、刻蝕區(qū)、（）、（）和拋光區(qū)。

答案：光刻區(qū)；注入?yún)^(qū)；薄膜區(qū)