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多項(xiàng)選擇題

下列可能造成離子源沾污的因素是（）

A.離子源是否被沾污
B.真空系統(tǒng)是否漏氣
C.原材料是否滿足純度要求
D.光刻膠的堿性元素沾污

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多項(xiàng)選擇題

離子注入機(jī)掃描系統(tǒng)中，采用的掃描方式有（）

A.靜電掃描
B.機(jī)械掃描
C.混合掃描
D.平行掃描

多項(xiàng)選擇題

傳統(tǒng)的平坦化技術(shù)有（）

A.反刻法
B.高溫回流法
C.旋涂玻璃法
D.化學(xué)機(jī)械拋光法