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問答題

【簡答題】怎樣用壓力比較法檢測吸附器有泄漏閥門？

答案：壓力比較法是通過幾個吸附器或全部吸附器在某個相同步位完成某個相同的工藝步驟時的壓力水平進行比較，例如在一均升壓開始時，若...

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【簡答題】檢測吸附器閥門泄漏的方法有哪幾種？

答案：

檢測吸附器閥門泄漏的方法有兩種：
①壓力比較法。
②吸附時間比較法。

【簡答題】閥門故障報警后如何處理？

答案：如果發(fā)生真實的閥門故障報警，則應立即切換至替換工藝。若裝置以10床自動切換模式運行，根據(jù)閥門故障原因和出故障的具體閥門，...