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名詞解釋

級(jí)聯(lián)碰撞

答案: 位移原子稱(chēng)為反沖原子。與入射離子碰撞而發(fā)生位移的原子,稱(chēng)為第一級(jí)反沖原子,與第一級(jí)反沖原子碰撞而位移的原子,稱(chēng)為第二級(jí)反...
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名詞解釋

光刻膠

答案:

又稱(chēng)光致抗蝕劑,由感光樹(shù)脂、增感劑和溶劑三種主要成分組成的對(duì)光敏感的混合液體。

名詞解釋

駐波效應(yīng)

答案: 光線(xiàn)照射到光刻膠與晶圓的界面上會(huì)產(chǎn)生部分反射。反射光與入射光會(huì)疊加形成駐波,形成駐波效應(yīng)。駐波效應(yīng)影響光刻分辨率。后烘烤...
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