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名詞解釋

外延

答案：

在單晶襯底上按襯底晶向生長(zhǎng)一層新的單晶薄膜的工藝技術(shù)。

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保形覆蓋

答案：

所有圖形上淀積的薄膜厚度相同；也稱(chēng)共性覆蓋。

PECVD（等離子增強(qiáng)CVD）

答案：

RF激活氣體分子（等離子體），使其在低溫（室溫）下發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，淀積成膜。