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名詞解釋

外延層

答案：

襯底上新生長(zhǎng)的單晶層。

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外延

答案：

在單晶襯底上按襯底晶向生長(zhǎng)一層新的單晶薄膜的工藝技術(shù)。

保形覆蓋

答案：

所有圖形上淀積的薄膜厚度相同；也稱共性覆蓋。