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問答題
【簡(jiǎn)答題】分別寫出刻蝕及去PSG的工藝控制流程？
答案：
刻蝕的流程：預(yù)抽，主抽，送氣，輝光，清洗，預(yù)抽，主抽，充氣
去PSG的流程：酸洗（HF），溢流水洗，噴淋，甩干
去PSG的流程：酸洗（HF），溢流水洗，噴淋，甩干
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問答題
【簡(jiǎn)答題】邊緣刻蝕冷熱探針的工作原理？
答案：
熱探針和N型半導(dǎo)體接觸時(shí)，傳導(dǎo)電子將流向溫度較低的區(qū)域，使得熱探針處電子缺少，因而其電勢(shì)相對(duì)于同一材料上的室溫觸點(diǎn)而言將...
問答題
【簡(jiǎn)答題】刻蝕及去PSG的目的是什么？
答案：
刻蝕的目的：去除邊緣的PN結(jié)，防止上下短路而造成的并聯(lián)電阻低。去PSG的目的：去除硅片表面含有磷原子的SIO2層。
