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單項(xiàng)選擇題

WCVD工藝第一步是（）。

A.浸潤
B.成核
C.BULK
D.直接反應(yīng)

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單項(xiàng)選擇題

Liner barrier阻擋金屬間擴(kuò)散作用的金屬是（）。

A.金屬Al
B.金屬鈦
C.金屬氮化鈦
D.金屬鎢

單項(xiàng)選擇題

摻氯氧化使用的HCL是（）。

A.液態(tài)源
B.固態(tài)源
C.氣態(tài)源