集成電路制造工藝員（三級(jí)）單項(xiàng)選擇題每日一練(2019.01.20)

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1 當(dāng)熱氧化的最初階段，（）為限制反應(yīng)速率的主要原因。

2 Torr是指（）的單位。

3 采用熱氧化方法制備的二氧化硅從結(jié)構(gòu)上看是（）的。

4 買來(lái)的新樹脂往往是Na型或Cl型，新樹脂使用前必須分別用酸（陽(yáng)樹脂），堿（陰樹脂）浸泡約（）個(gè)小時(shí)，把Na型或Cl型轉(zhuǎn)換成H型或OH型。

5 請(qǐng)?jiān)谙铝羞x項(xiàng)中選出多晶硅化金屬的英文簡(jiǎn)稱：（）。

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